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    “厚”積“薄”發,北方華創12英寸背金PVD助推功率半導體產業發展

    ??2020年5月20日,廈門士蘭集科微電子12英寸生產線建設項目首批設備搬入儀式在廈門工廠舉行,北方華創12英寸背金PVD系統作為首批設備在儀式上搬入廠房。



    ??北方華創12英寸背金PVD系統采用Polaris平臺,工藝腔室配置靈活,并專門針對功率半導體特色薄片工藝需求進行開發。其定制化的軟件服務可與客戶生產系統無縫集成,保障客戶快速穩定量產。薄片自動翻轉和傳輸、應力控制技術、工藝溫度實時監控及反應刻蝕等自主研發的先進技術,為12英寸薄片翹曲控制以及背面金屬薄膜粘附力提供有力保障,極大地拓展了工藝空間。12英寸背金PVD系統可以為用戶帶來更強的兼容性、更便利的維護特性和更小的占地面積。此外,北方華創還可為12英寸功率半導體領域提供包括eVictor系列厚Al PVD系統、ALB系統(PVDTi+MOCVD TiN)、W CVD系統和專門應用于特色工藝的硅刻蝕、硅外延、立式爐以及槽式清洗等設備。北方華創遍布全國的客服網點以優質的技術服務踐行“客戶在哪里,服務就在哪里”的服務理念。


    Polaris B630 


    ??北方華創始終聚焦科技創新,將前沿技術、工匠精神融入新興技術的裝備制造與工藝技術研發中,滿足不同行業與客戶的新需求。

    ??2018年10月18日,士蘭廈門12英寸特色工藝芯片生產線暨先進化合物半導體生產線在廈門海滄動工,這是國內首條12英寸特色工藝芯片制造生產線和下一代化合物生產線。2020年5月10日,士蘭廈門12英寸特色工藝半導體芯片項目正式通電,5月20日,首批設備入場。隨著該項目穩步推進,預計生產線年底可實現通線。


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